東莞市南力測控設備有限公司推出新產(chǎn)品:壓力開(kāi)關(guān),壓力變送器,壓力傳感器,稱(chēng)重傳感器,液位傳感器如有意向購買(mǎi)者請致電:0769-88119598 壓力傳感器已成為各類(lèi)傳感器中技術(shù)最成熟、性能最穩定、性?xún)r(jià)比最高的一類(lèi)傳感器。因此對于從事現代測量與自動(dòng)控制專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員必須了解和熟識國內外壓力傳感器的研究現狀和發(fā)展趨勢。在各類(lèi)傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。
除此以外,還廣泛應用于水利、地質(zhì)、氣象、化工、醫療衛生等方面。傳感器技術(shù)是現代測量和自動(dòng)化系統的重要技術(shù)之一,從宇宙開(kāi)發(fā)到海底探秘,從生產(chǎn)的過(guò)程控制到現代文明生活,幾乎每一項技術(shù)都離不開(kāi)傳感器,因此, 許多國家對傳感器技術(shù)的發(fā)展十分重視,如日本把傳感器技術(shù)列為六大核心技術(shù)(計算機、通信、激光、半導體、超導體和傳感器) 之一。
壓力傳感器由于該技術(shù)是平面工藝與立體加工相結合,又便于集成化,所以可用來(lái)制成血壓計、風(fēng)速計、水速計、壓力表、電子稱(chēng)以及自動(dòng)報警裝置等,現代壓力傳感器以半導體傳感器的發(fā)明為標志,而半導體傳感器的發(fā)展可以分為四個(gè)階段: 發(fā)明階段半導體材料的這一特性得到較廣泛應用,技術(shù)發(fā)展階段隨著(zhù)硅擴散技術(shù)的發(fā)展,這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),實(shí)現了金屬- 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。
商業(yè)化集成加工階段在硅杯擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù),擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主,
壓力傳感器發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù),主要有V 形槽法、濃硼自動(dòng)中止法、陽(yáng)極氧化法自動(dòng)中止法和微機控制自動(dòng)中止法,微機械加工階段上世紀末出現的納米技術(shù),使得微機械加工工藝成為可能,通過(guò)微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結構型的壓力傳感器,其線(xiàn)度可以控制在微米級范圍內。
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