按照其用途,傳感器可分類(lèi)為:
壓力敏和力敏傳感器 位置傳感器
液面傳感器 能耗傳感器
速度傳感器 熱敏傳感器
加速度傳感器 射線(xiàn)輻射傳感器
振動(dòng)傳感器 濕敏傳感器
磁敏傳感器 氣敏傳感器
真空度傳感器 生物傳感器等。
以其輸出信號為標準可將傳感器分為:
模擬傳感器--將被測量的非電學(xué)量轉換成模擬電信號。
數字傳感器--將被測量的非電學(xué)量轉換成數字輸出信號(包括直接和間接轉換)。
膺數字傳感器--將被測量的信號量轉換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉換)。
開(kāi)關(guān)傳感器--當一個(gè)被測量的信號達到某個(gè)特定的閾值時(shí),傳感器相應地輸出一個(gè)設定的低電平或高電平信號。
在外界因素的作用下,所有材料都會(huì )作出相應的、具有特征性的反應。它們中的那些對外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來(lái)制作傳感器的敏感元件。從所應用的材料觀(guān)點(diǎn)出發(fā)可將傳感器分成下列幾類(lèi):
(1)按照其所用材料的類(lèi)別分
金屬
聚合物
陶瓷
混合物
(2)按材料的物理性質(zhì)分 導體, 絕緣體, 半導體, 磁性材料
(3)按材料的晶體結構分
單晶,多晶,非晶材料
與采用新材料緊密相關(guān)的傳感器開(kāi)發(fā)工作,可以歸納為下述三個(gè)方向:
(1)在已知的材料中探索新的現象、效應和反應,然后使它們能在傳感器技術(shù)中得到實(shí)際使用。
(2)探索新的材料,應用那些已知的現象、效應和反應來(lái)改進(jìn)傳感器技術(shù)。
(3)在研究新型材料的基礎上探索新現象、新效應和反應,并在傳感器技術(shù)中加以具體實(shí)施。
現代傳感器制造業(yè)的進(jìn)展取決于用于傳感器技術(shù)的新材料和敏感元件的開(kāi)發(fā)強度。傳感器開(kāi)發(fā)的基本趨勢是和半導體以及介質(zhì)材料的應用密切關(guān)聯(lián)的。表1.2中給出了一些可用于傳感器技術(shù)的、能夠轉換能量形式的材料。
按照其制造工藝,可以將傳感器區分為:
集成傳感器,薄膜傳感器,厚膜傳感器,陶瓷傳感器
集成傳感器是用標準的生產(chǎn)硅基半導體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。
薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。
厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。
完成適當的預備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。
每種工藝技術(shù)都有自已的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數的高穩定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
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